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中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標準
作者:沃藍水處理  時間:2016-08-03 23:05:27

指標\級別

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

電阻率 MΩ,cm(25℃)

18以上,(95%時間)不低于17

15,(95%時間)不低于13

12.0

0.5

全硅,最大值,μg/L

2

10

50

1000

>1μm微粒數,最大值,個/mL

0.1

5

10

500

細菌個數,最大值,個/mL

0.01

0.1

10

100

銅,最大值,μg/L

0.2

1

2

500

鋅,最大值,μg/L

0.2

1

5

500

鎳,最大值,μg/L

0.1

1

2

500

鈉,最大值,μg/L

0.5

2

5

1000

鉀,最大值,μg/L

0.5

2

5

500

氯,最大值,μg/L

1

1

10

1000

硝酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

磷酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

硫酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

總有機酸,最大值,μg/L

20

 

 

 

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